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詳細(xì)介紹
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT
特征
- 排氣→涂層（蝕刻）→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣
- 盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡(jiǎn)單型）
- 全自動(dòng)濺射設(shè)備，操作簡(jiǎn)便，重現(xiàn)性高
- 配備涂層/蝕刻模式
應(yīng)用/結(jié)果示例
- 各種設(shè)備的電極膜附件
- 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸/ 2極面對(duì)電極 |
| 濺射靶 | 包含金靶 |
| 蝕刻目標(biāo) | 包括Al目標(biāo) |
| 膜厚設(shè)定方法 | 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
| 氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動(dòng)泄漏） |
| 排氣操作 | 自動(dòng)的 |
| 箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：15公斤 RP：9公斤 |
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