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四探針電阻測定儀硅片電阻率測量的國際標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
四探針電阻測定儀
1.方塊電阻范圍Sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×105Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×104Ω/□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×104Ω/□ |
2.電阻率范圍Resistivity | 10-6～2×106Ω-cm | 10-5～2×106Ω-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×105Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×105Ω-cm |
測試電流范圍 Test current | 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 10μA，100µA，1mA，10mA， 100mA | 0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
4.電流精度 Current accura | ±0.1% | ±0.2% | ±0.2% | ±0.3% | ±0.3% | ±0.3% |
5.電阻精度Resistance | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.顯示讀數(shù)display | 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity | |||||
7.測試方式test mode | 普通單電測量general single electrical measurement | |||||
8.工作電源power | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W | |||||
四探針電阻測定儀直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓
步驟及流程
1. 開啟電源，預(yù)熱5分鐘.
2. 裝配好探頭和測試平臺.
3. 設(shè)定所需參數(shù).
4. 測量樣品
5. 導(dǎo)出數(shù)據(jù).
優(yōu)點(diǎn)描述：
1. 自動量程
2. 雙電組合測試方法
3. 標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器
4. PC軟件運(yùn)行
5. 同時(shí)顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
6. 可顯示5位有效數(shù)字.
7. 中、英文界面
