EB系列射頻探針臺(tái)
一、EB系列射頻探針臺(tái)顯微鏡操控規(guī)格
l 在探針臺(tái)右側(cè)有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時(shí)更換物鏡鏡頭
l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍2"X2"，精度1μm
l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm
二、臺(tái)面規(guī)格
l 探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm
l 探針臺(tái)左側(cè)有搖杠可以控制臺(tái)面快速上下升降6mm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的重選擇
l 探針臺(tái)右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿，搖動(dòng)時(shí)可使臺(tái)面線性上下升降，升降范圍25mm，精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的復(fù)位
三、卡盤（載物臺(tái)，即圖中的chuck）規(guī)格
l 6" 卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm-1mm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。】梢晕〕叽鐬?.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"
l 卡盤可360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕
l 卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為6"X6"，移動(dòng)精度為1μm，為方便點(diǎn)測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測 6"wafer的時(shí)候，可以6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測到
四、性能
l 鍍金真空吸附卡盤: 對應(yīng)可選4" ，6"，8"，12"產(chǎn)品
l 大旋鈕移動(dòng)卡盤臺(tái)，X-Y方向行程：6"-6"
l 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
l 線性無回差調(diào)節(jié)
l 臺(tái)面快速升/降行程：6mm，精調(diào)升/降行程：25mm
l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
l 卡盤平整度: 10um
l 卡盤旋轉(zhuǎn)角度：0~360°
l Chuck Theta: ±15
l 大旋鈕滑臺(tái)X-Y方向精度: 1um
l 臺(tái)面上/下升降搖桿/旋鈕
l 顯微鏡傾仰裝置
五、附件
l 顯微鏡傾仰裝置
l 鍍金卡盤
l 射頻測試探頭/電纜
l 有源探頭
l 低電流/電容測試
l 高壓測試
l 激光修復(fù)
l CCD/數(shù)字相機(jī)，USB接口
l 探針卡/封裝/PCB板夾具
l 加熱裝置
l 防震桌
l 屏蔽箱
評估射頻mmW探針臺(tái)注意事項(xiàng)：
1.防震桌
來自于地的振動(dòng)噪聲干擾，當(dāng)探針站在電極上，防止針在電極上刮來刮去影響到彼此的接觸。 信號進(jìn)出頻率愈高愈是在意。 客戶端經(jīng)常出現(xiàn)的問題，這個(gè)實(shí)驗(yàn)室以及整棟建筑物在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就比較脆弱，很容易產(chǎn)生共振，當(dāng)微小的震動(dòng)來的時(shí)候，隨著樓層越高，震動(dòng)到實(shí)驗(yàn)室的現(xiàn)場位置被放大了更大。 奕葉都會(huì)派工程師到現(xiàn)場量震動(dòng)，機(jī)器進(jìn)場前選擇適當(dāng)?shù)牡攸c(diǎn)安裝！
2.探針臺(tái)
穏定的臺(tái)體，硬件機(jī)械架構(gòu)的強(qiáng)度與其重心配置。 其次為載臺(tái)的XY、Z滑臺(tái)及顯微鏡XY功能、精度、穩(wěn)定性及操控性都至關(guān)重要。
3.探針座
有別于直流量測的探針座，高頻量測時(shí)探針座本身的重心配置的穩(wěn)定性要高之外，控制探針的機(jī)械調(diào)整精度必需1 micron 以上，下針后滑行距離可細(xì)膩調(diào)整到不同應(yīng)用及材料所需的接觸應(yīng)力。 頻率愈高，間距愈窄，控制探針的每一步的步進(jìn)量也需愈小。 頻率在90GHz以上的架設(shè)，在探針座本身的穩(wěn)定及精度之外，要將探針座背另外一個(gè)倍頻器一起規(guī)劃，出現(xiàn)了其他的挑戰(zhàn)，如何將大尺寸的倍頻器收納及超小倍頻器在瞬間產(chǎn)生的熱能的消散問題，設(shè)計(jì)上是一大考驗(yàn)。
4.探針
探針是元件與儀器信號之間的直接硬件接口，廠牌的選用也會(huì)影響到量測結(jié)果的可靠及重復(fù)性，校正數(shù)據(jù)庫宏，可提供可靠之外，較深及較廣的后續(xù)量測咨詢。
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