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南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>RTP快速退火爐>> OTF-1200X-4-80-100-4CLV-S1100°C雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐

1100°C雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) OTF-1200X-4-80-100-4CLV-S
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 南京市
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更新時(shí)間:2021-05-11 15:50:15瀏覽次數(shù):355

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油
產(chǎn)品概述∶?OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL雙管爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng)是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是在新—代能源研究中,應(yīng)用于柔性金屬箔電極方面的研究。本設(shè)備可通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻,同時(shí)根據(jù)用戶的需求提供單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種配置的爐膛。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱1100°C雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐
主要特點(diǎn)

雙石英管∶外管直徑100mn,懸掛的內(nèi)管直徑80mm,金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生cvD反應(yīng)。(見(jiàn)下圖)

兩根爐管上安裝有真空密封法蘭,允許反應(yīng)氣體在兩個(gè)管(10mm間距)之間流動(dòng),情性氣體在管內(nèi)流動(dòng)以進(jìn)行冷卻。

· 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng)。

爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè),以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

·包含一個(gè)止滑夾,用于固定爐子的位置。

·最高溫度可達(dá)1100℃。

雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。

· 內(nèi)爐膛表面涂有姜國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

開(kāi)門斷電,提高實(shí)驗(yàn)安全性。

基本參數(shù)

最高溫度∶ 1100℃(≤30min) 工作溫度∶ 1000℃

推薦升溫速率∶≤10℃/min

加熱元件∶摻參鉬鐵鉻鋁合金

·電壓∶220

可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛。(雙溫區(qū)見(jiàn)下圖)

加熱爐額定功率∶3KW(不包括CVD系統(tǒng))

加熱區(qū)∶400mm (單溫區(qū)),200mm*2(雙溫區(qū))

爐管及滑軌

高純石英管80mm外徑x 1800mm長(zhǎng)

高純石英管100mm外徑x 1400mm長(zhǎng)

鍍鉻鋼制成的雙滑軌

真空法蘭

不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡(jiǎn)便。

采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作。

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。

多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)∶

輸入電壓∶ AC 2207/5OHz單相

功率∶23w

產(chǎn)品二通道三通道四通道五通道
工作溫度5-45℃5-45℃5-45℃5-45℃
最大壓力3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa
精度±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS
重復(fù)精度±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS
流量范圍

一路:

1-199 scm

二路:

1-199 scm

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-499SCCM

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-199SCCM

四路:

1-499sccm

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-199SCCM

四路:

1-499sccm

注意其他流量范圍的可定制(0~100、1~200、1-500、1-1000、1-2000、1-5000sccm),需額外費(fèi)用五一九路可按照客戶要求定制

真空系統(tǒng)

此設(shè)備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組

·GZK-101低真空機(jī)組∶

·工作電電壓∶220v,50~60HZ

· 功率∶ 1KW

·系統(tǒng)極限真空度∶1.0*10-1Pa

·抽氣速率∶ 4.4L/ S

 

*103G高真空機(jī)組:

產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)分子泵愛(ài)德華分子泵
抽氣速率

·N2   33 L/s

.He    39 L/s

.H2   32 L/s

.N2     42L/s

.He      49L/s

.H2        45L/s

系統(tǒng)極限真空度<1E-4 Pa (配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-2Pa)<1E-6 Pa (配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-4Pa)
分子泵組成RVP-4機(jī)械泵和F-100/110分子泵隔膜泵和斡旋分子泵
使用電壓和功率電壓∶200~240v輸出功率∶ 150w電壓∶ 185-265v輸出功率∶100v
移動(dòng)殼體尺寸:600 L)x600(w)x750(H)mm600(L)x600(w))x750(H)mm

 

溫控系統(tǒng)

 

采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序

溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)

儀表控溫精度∶ +/- 1°C

熱電偶型號(hào)∶ K型

開(kāi)門斷電

為保證使用安全該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)

認(rèn)證

 

所有電氣部件均為UL認(rèn)證,并可通過(guò)TV、CSA認(rèn)證

CE certified

質(zhì)保

一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

 

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