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中圖3d輪廓檢測儀器可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm(可定制),測量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達(dá)0.1nm。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
在測量大尺寸樣品時(shí),中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能,能將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。
在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度;
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技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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