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日立SU8600場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡

日立高新技術(shù)公司于2021.12.9日發(fā)布了全新一代冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU8600，這款產(chǎn)品不光保留了日立傳統(tǒng)冷場(chǎng)電鏡的優(yōu)點(diǎn)，還采用了新型冷場(chǎng)電子槍，可選擇更多種類的探測(cè)器，而且具有全新的自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取功能，這些技術(shù)的加入使得SU8600的成像、分析能力以及自動(dòng)化性能都有了提升。

日立SU8600場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2

• 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的最佳性能
  (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

• 采用污染小、高真空樣品倉(cāng)

• 運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2