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日立冷場(chǎng)掃描電鏡SU8600高分辨率電子顯微鏡
隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展，電子顯微鏡進(jìn)入了一個(gè)不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量，而且重視其采集過程的時(shí)代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場(chǎng)成像技術(shù)，同時(shí)還大大提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
日立冷場(chǎng)掃描電鏡SU8600高分辨率電子顯微鏡
在細(xì)微結(jié)構(gòu)分析中，SU8600可以實(shí)現(xiàn)低加速電壓觀察，對(duì)高分子等易受電子束照射影響的材料進(jìn)行高分辨觀察。該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)如下：
1．支持自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)
在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測(cè)量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長(zhǎng)短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異。
此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加，手動(dòng)獲取各種大量數(shù)據(jù)會(huì)大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān)。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator"，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)，這對(duì)于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)開發(fā)起到重要作用。
2．增加獲取信息的種類與數(shù)量
通過SEM能夠收集到多種信號(hào)，且此系列產(chǎn)品*多可以同時(shí)顯示和存儲(chǔ)6個(gè)檢測(cè)器的信號(hào)。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息。
此外，為一次性獲取大量信息，像素?cái)U(kuò)展到了40,960 x 30,720（選配），是之前型號(hào)的64倍。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評(píng)估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu)。
3．增強(qiáng)信號(hào)檢測(cè)能力
日立冷場(chǎng)掃描電鏡SU8600高分辨率電子顯微鏡
產(chǎn)品特點(diǎn)：
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能