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API激光干涉儀實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明:工作效率提升5倍。
API激光干涉儀該儀器體積小、重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌.上。XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和6D傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋,API代理經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù),記錄精確長(zhǎng)度位置。第二束光作直線度測(cè)量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測(cè)得。第三束光用作裝在6D .傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源,用來(lái)測(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)
美國(guó)愛佩儀江蘇代理激光干涉儀
API激光干涉儀,測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響,測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器,使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到最小。
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