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| 應用領域 | 電子,電氣,綜合 |
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檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求
高性能、高性價比 | 可靠的結果 | 數(shù)字集成 |
它具有優(yōu)異的可用性和先進的自動化功能，是要求日常任務的理想選擇。相比起更先進的光學顯微鏡，它兼顧強大的性能與經(jīng)濟的價格。 | 使用帶編碼的組件和先進的光學技術，Axioscope 提供可靠的，可再現(xiàn)的結果。此外，自動化的Axioscope7 能夠使您的工作流程*自動化-所以它能很快成為實驗室的得力助手。 | 靠著Axiocam系列相機和ZEN 2 core成像系統(tǒng)，Axioscope成為一個強大的數(shù)字文檔系統(tǒng)。從設備控制-到圖像采集、分析以及儲存您的分析數(shù)據(jù)，Axioscope提供了一個*數(shù)字化的工作流程。 |
一、德國進口晶圓光學檢測設備的應用：
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩(wěn)定性。可滿足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至理想的聚焦位置。
二、德國進口晶圓光學檢測設備的特點：
（1）具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢。
（2）Axio Imager Vario能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。
（3）借助硬件自動對焦功能，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
（4）將Axio Imager Vario與LSM 900結合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
（5）Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。
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