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AE(Advanced Energy) Pinnacle 6K 6KW DC POWER SUPPLY

利用精確、可重復(fù)的功率和優(yōu)勢、低輸送電弧能量，生產(chǎn)優(yōu)良的薄膜，實現(xiàn)工藝效率的優(yōu)化，電源采用主/從配置的可靠、緊湊型風(fēng)冷設(shè)計。突出的工藝穩(wěn)定性和控制能力，可有效的減少差異和提高良品率。緊湊的外形集合了多種功能，低儲能實現(xiàn)優(yōu)秀的電弧管理、快速電弧響應(yīng)以及較寬的全功率運行阻抗范圍。

技術(shù)參數(shù)

AE(Advanced Energy) Pinnacle Series DC POWER SUPPLY 是面向≤20KW工藝的優(yōu)秀直流電源。

Power

Single Output：6，10，12 or 20 KW

Dual Output：6/6 and 10/10 KW , independently controlled

Voltage

Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)

Repeatability

+/-0.1% of rated power

Accuracy

+/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater)

Communication Interfaces

Analog, RS-232/485, Profibus

AC Input

208, 400, 440, and 480 VAC

優(yōu)點

1.降低運作和安裝成本；

2.實現(xiàn)快速電弧響應(yīng)；

3.配置電弧響應(yīng)；

4.優(yōu)化工藝效率；

5.精密的控制工藝。

特點

1.低儲存能量 — 每 1 kW 輸出小于 1 mJ；

2.無抽頭；

3.輸出可重復(fù)性為 ±0.1%；

4.目標調(diào)節(jié)周期 (TCC) — 將新靶標的調(diào)節(jié)時間縮短；

5.焦耳模式 — 優(yōu)化能量供應(yīng)。