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AE MERCURY 3013-AE 水星Mercury 3013 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器
  • AE MERCURY 3013-AE 水星Mercury 3013 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器

貨物所在地:江蘇揚州市

更新時間:2024-08-07 08:34:14

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AE 水星Mercury 3013 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器, 主要用于傳輸線上,以此來達(dá)到幾乎全部高頻微波信號均能傳遞至負(fù)載點的目的,減少信號反射回來源點,提升能源效益。

AE(Advanced Energy)Mercury 3013 水星系列射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器, 主要用于傳輸線上,以此來達(dá)到幾乎全部高頻微波信號均能傳遞至負(fù)載點的目的,減少信號反射回來源點,提升能源效益。


在射頻濺射系統(tǒng)中,靶材于殼體近似一個電容器,對電源來說是電容性負(fù)載,通過調(diào)節(jié)射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器中的可調(diào)節(jié)電容,可以使得這個容性負(fù)載的阻抗達(dá)到事宜狀態(tài),進(jìn)而使射頻電源的輸出功率得到高效的利用。


特點:

  1. 使等離子體能夠高效的吸收射頻電源提供的能量

  2. 可以提高靶的濺射速率

  3. 能夠加快成膜的速度


技術(shù)參數(shù):

LF Input :<500KHz / 600V MAX

AC Input : 115 VAC , 50/60Hz , 1A / T1A 250 VAC

Net Dimensions and Weight : 400*240*400mm / 11.8Kg

頻率 :13.56MHz

輸出功率 :3000W




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