AE 直流磁控電源 Pinnacle-10K 10KW DC電源,經(jīng)過現(xiàn)場測試其優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力,能夠有效的減少差異和提高良品率。緊湊的外形集合了多種功能,包括優(yōu)秀的電弧管理、產(chǎn)生低儲存能量、快速電弧響應以及較寬的全功率運行阻抗范圍。
Pinnacle直流電源平臺具有優(yōu)秀的工藝一致性和控制功能,從而大大減少了工藝變化,提高了產(chǎn)量。利用精確、可重復的功率和優(yōu)勢、低輸送電弧能量,生產(chǎn)優(yōu)良的薄膜,實現(xiàn)工藝效率的優(yōu)化,電源采用主/從配置的可靠、緊湊型風冷設計。
AE 直流磁控電源 Pinnacle-10K 10KW DC電源突出的工藝穩(wěn)定性和控制能力,可有效的減少差異和提高良品率。緊湊的外形集合了多種功能,包括優(yōu)秀的電弧管理、產(chǎn)生低儲存能量、快速電弧響應以及較寬的全功率運行阻抗范圍。
技術參數(shù)
Power
Single Output :6,10,12 or 20KW
Dual Output :6/6 and 10/10 KW,independently controlled
Voltage
Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)
Repeatability
+/- 0.1% of rated power
Accuracy
+/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater)
Communication Interfaces
Analog, RS-232/485, Profibus
AC Input
208, 400, 440, and 480 VAC
AE 直流磁控電源 Pinnacle-10K 10KW DC電源
優(yōu)點
1.降低運作和安裝成本;
2.實現(xiàn)快速電弧響應;
3.配置電弧響應;
4.優(yōu)化工藝效率;
5.精密的控制工藝。
特點
1.低儲存能量 — 每 1 kW 輸出小于 1 mJ;
2.無抽頭;
3.輸出可重復性為 ±0.1%;
4.目標調(diào)節(jié)周期 (TCC) — 將新靶標的調(diào)節(jié)時間縮短;
5.焦耳模式 — 優(yōu)化能量供應。
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