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MKS 射頻電源 ENI DOFBC2-083 27MHz RF Generator 是經(jīng)過長現(xiàn)場驗證具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，被廣泛運用于濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導(dǎo)體制程工藝中。ENI 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，運用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中能夠提高成膜效率，一定程度上可以提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型高頻射頻電源堅實耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。該型射頻電源設(shè)備整體上采用緊湊設(shè)計，緊湊小巧，能夠減少客戶的使用成本。

MKS 頻射頻電源 ENI DOFBC2-083 27MHz RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：ENI

設(shè)備型號：DOFBC2-083

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，208V，25A，50/60Hz

RF 射頻輸出：27MHz

通訊接口：Solenoid Control，F(xiàn)iberoptic Interface

設(shè)備散熱：水冷散熱

設(shè)備重量：37.6kg，83.0lbs