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AE 射頻電源 RFDS-1250 銷售及維修
  • AE 射頻電源 RFDS-1250 銷售及維修

貨物所在地:江蘇揚州市

更新時間:2024-04-01 15:29:47

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射頻電源 Advanced Energy AE RFDS-1250 RF Generator,13.56MHz 1250W,該款電源可以替代AE RFG1250 使用。

Advanced Energy AE RFDS-1250 RF Generator 射頻電源,13.56MHz 1250W。

M/N  3155059-026 ; P/N  660-024637-026


AE RFDS-1250 是經過長期現(xiàn)場驗證的具有穩(wěn)定輸出性能的射頻電源,該型射頻電源在實際運行操作過程中體現(xiàn)出了優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力,能夠實現(xiàn)隊射頻輸出的精準控制。射頻電源整體上采取了緊湊型的設計,可以減少在機臺中的空間占用,降低客戶的使用成本。此外具有優(yōu)良可靠的成膜能力,因而被廣泛應用在半導體制程的薄膜工藝中,成膜速度快,能夠提高產線中的成膜效率。


提示:AE RFDS-1250在上機運用中可實現(xiàn)對AE RFG1250 的替代,兩者運行要求一致,功率頻率一致,但由于兩款型號CEX接口信號不同,會導致CEX接口無法使用。

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