1. 產(chǎn)品概述
適用晶圓尺寸:200mm(8")和300mm(12")
配置:獨(dú)立配置4個(gè)清洗工位，DIW刀預(yù)清洗，2個(gè)雙面滾刷清洗，N2吹旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選分離式QDR)清潔器尺寸:1,970W 975D 1,380Hmm
電刷尺寸:70(外徑)32(內(nèi)徑)320(長(zhǎng))毫米
預(yù)清洗工位:DIW噴霧清洗，工位間DIW帷幕清洗
輥刷工位
化學(xué)：nh4oh（<1%）或DIW
刷型:雙面PVA刷
轉(zhuǎn)速:<滿量程的±2%范圍30 ~ 300rpm
化學(xué)品供應(yīng):4個(gè)噴嘴和通過刷子
可用化學(xué):2化學(xué)[NH4OH]
化學(xué)品流量:滿量程< 1L/min
DI流量:滿量程<5L/min
轉(zhuǎn)站
旋轉(zhuǎn)速度:高2500轉(zhuǎn)/分DIW沖洗/ N2吹
控制工藝:自動(dòng)上片，自動(dòng)順序，濕進(jìn)/干出
程序控制:PC & PC觸摸監(jiān)控，程序可編程，計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可比
化工儀器網(wǎng)