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HPGP-101-C PDS-E高壓氣體探測器

高科技制造工藝通常需要高純氣體。高壓氣體探測系統(tǒng)HPGP-101-C可在線壓下為工藝氣體提供可依賴的在線污染監(jiān)測。

HPGP與大多數(shù)無毒氣體兼容，可用于許多反應性氣體監(jiān)測應用中

PDS-E(粒子數(shù)據(jù)系統(tǒng)-以太網(wǎng))收集和報告HPGP-101-C探測器捕獲的數(shù)據(jù)。

優(yōu)點

降低成本

· 工藝氣體分配系統(tǒng)的速度限定

· 在影響產(chǎn)量之前測定氣體中的顆粒。

· 與氧，氫和大多數(shù)無毒氣體兼容

改進過程控制

· 驗證氣體質量

· 檢測過程是否異常

· 量化系統(tǒng)變化的影響

· 準確的粒度

· 便利的網(wǎng)絡數(shù)據(jù)管理軟件，用于全面數(shù)據(jù)存儲，管理，報告和警報

可靠性

· 被動腔式設計不需要經(jīng)常維護

· 與其他系統(tǒng)不同，HPGP不需要監(jiān)測流體

· 惰性氣體吹掃，確保安全

· 如氣體泄漏到安全艙，切斷電源

功能

· 0.1 SCFM時具備0.1μm靈敏度

· 8個粒子通道

· 40-150 psig的線壓

· 被動激光腔

· 并行處理陣列檢測系統(tǒng)

· 安全艙

· 同時進行雙重探測操作

· 氧氣和氫兼容性

應用

· 氣體分配系統(tǒng)的限定

· 過程氣體監(jiān)測

· 反應性氣體監(jiān)測

HPGP-101-C PDS-E高壓氣體探測器

規(guī)格參數(shù)

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我們是日本大為在中國的兄弟公司，目前國內半導體設備的廠商都是我們的客戶。

我們的產(chǎn)品包括反應器/半導體設備/氣柜/化學品柜制造中的部件、焊接設備、切割設備、耗材、檢測設備、流體元件、五金配件等。

上海利布迪公司經(jīng)營的產(chǎn)品和品牌包含但不限于：

流體元件：

日本富士金FUJIKIN，美國Aptech，韓國Unilok，以色列哈姆雷特HAMLET，美國Presair壓力開關，以及潔凈系列不銹鋼管道等。

壓力溫度：

美國PalmerWahl 圓盤壓力溫度記錄儀及溫度計系列產(chǎn)品, 日本岡崎OKAZAKI超低溫溫度計等；

工業(yè)材料：

日本預磨鎢針，專業(yè)供應用于美國世偉洛克Swagelok，美國AMI，德國歐比泰姆Orbitalum，美國眼鏡蛇MK等自動焊機；V+V不銹鋼材料，銅合金材料，半導體耗材等；

制造與檢測：

半導體設備及配件，進口自動焊機，日本ACCESS PFA焊接機，無毛刺切割機，日本Lasertec激光顯微鏡，美國SIGHTPIPE管焊縫光學檢查內窺鏡，美國鷹眼HAWKEYE內窺鏡，日本奧林巴斯內窺鏡，日本VCR限流墊片/孔板，英?？礗NFICON氦檢儀等。