天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷KLA-Tencor光學(xué)表面分析儀Candela CS20系列

品牌名稱：KLA-Tencor

規(guī)格型號(hào)：Candela CS20系列

產(chǎn)品介紹

單工具解決方案，在一次掃描中結(jié)合了四種光學(xué)檢測(cè)技術(shù)，可在自動(dòng)缺陷檢測(cè)和分類中獲得高效率

滿足多個(gè)行業(yè)要求，包括HBLED，高功率射頻電子和玻璃顯示技術(shù)

2英寸晶圓的吞吐量高達(dá)40wph，8英寸晶圓的吞吐量高達(dá)20wph

用于多種材料的30多個(gè)DOI缺陷分類的高級(jí)算法

快速，全晶圓粗糙度監(jiān)測(cè)和表面均勻度映射

KLA-Tencor Candela CS20系列光學(xué)表面分析儀（OSA）對(duì)半導(dǎo)體和光電材料進(jìn)行高級(jí)表面檢測(cè)。CS20系列提供了過程控制并提高了產(chǎn)量，可用于檢查不透明的基板（例如Si，GaAs和InP）以及透明的材料（例如SiC，GaN，藍(lán)寶石和玻璃）。

CS20系列采用OSA技術(shù)來同時(shí)測(cè)量散射強(qiáng)度，形貌變化，表面反射率和相移，以自動(dòng)檢測(cè)和分類不斷增加的關(guān)注缺陷（DOI）庫(kù)。OSA檢查技術(shù)結(jié)合了散射測(cè)定法，橢圓測(cè)定法，反射測(cè)定法和光學(xué)輪廓測(cè)定法的基本原理，以無損檢查晶片表面的殘留污染，表面和亞表面缺陷，形貌變化和膜厚均勻性。CS20系列的高靈敏度，高通量和多功能性提供了一種經(jīng)濟(jì)高效的解決方案，適用于過程開發(fā)和制造過程控制。

產(chǎn)品參數(shù)

CandelaOSA系統(tǒng)： 鏡面（反射光）

相移

地形

散射光

激光二極管： CS20R-8mW，635nm紅色激光

CS20v-25mW，405nm紫激光

CS20-雙路25mW，405nm X射線

4通道顯微鏡技術(shù)可用于缺陷分析和識(shí)別關(guān)鍵任務(wù)缺陷（DOI）

顯示的缺陷包括：SiC三角形缺陷，藍(lán)寶石襯底劃痕，SiC多型缺陷，晶片邊緣劃痕和GaN外延坑

自動(dòng)缺陷分類軟件可為DOI分類提供配方創(chuàng)建

高通量掃描分析可提供摘要報(bào)告，包括缺陷圖，日志文件和自動(dòng)通過/失敗分配

缺陷按大小分類并歸類為用戶定義的類別，并顯示在Candela缺陷圖上

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