應用領域 |
醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產業(yè),電子,制藥 |
杜邦陶氏DUPONT超純水除硼樹脂UP7530裝拋光樹脂玻璃鋼混床柱螯合離子交換樹脂半導體級,DuPont(杜邦)超純水除硼樹脂 UP7530 是一種高性能的螯合離子交換樹脂,專為半導體行業(yè)等高純度水需求的領域設計。它能夠有效去除水中的硼等雜質,保障超純水的質量。
DUPONT超純水除硼樹脂UP7530螯合離子交換樹脂半導體級樹脂
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一、杜邦陶氏DUPONT超純水除硼樹脂UP7530螯合離子交換樹脂半導體級樹脂 型號 | 物理形態(tài) | 樹脂結構體 | 離子型態(tài) | 含水量 | 操作溫度 |
陶氏樹脂 UP7530 拋光樹脂超純水制備樹脂DOW離子交換樹脂 | 琥珀色顆粒 | 苯乙烯/二乙烯苯交聯共聚物 | H+型 | 45-51% | 低于60℃ |
OH-型 | 54-60% |
DuPont(杜邦)超純水除硼樹脂 UP7530 是一種高性能的螯合離子交換樹脂 |
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DUPONT超純水除硼樹脂UP7530螯合離子交換樹脂半導體級樹脂簡介:在半導體行業(yè)中的應用
芯片制造:在半導體芯片制造過程中,超純水用于清洗硅片等關鍵步驟。硼雜質即使在微量水平也可能對芯片的性能產生嚴重影響,如改變半導體的電學性質。UP7530 樹脂能夠確保用于芯片清洗的超純水硼含量極低,提高芯片的質量和性能。
光刻工藝:光刻是半導體制造中的重要工藝,超純水的質量直接關系到光刻的精度和效果。使用 UP7530 除硼樹脂處理后的超純水可以避免硼雜質在光刻膠等材料上的沉積,從而保證光刻圖案的準確性和清晰度。
二、杜邦陶氏DUPONT超純水除硼樹脂UP7530螯合離子交換樹脂半導體級樹脂特性:
外觀 | 琥珀色顆粒 |
樹脂結構體 | 苯乙烯/二乙烯苯共聚合體 |
包裝密度 | 約665~740克/公升 |
總交換容量 | 陽樹脂≧2.0eq/L 陰樹脂≧1.3eq/L |
出貨時之離子型態(tài) | H型/OH型 |
陽樹脂組合比率 | 38~44% |
陰樹脂組合比率 | 56~62% |
操作條件 |
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操作度 | 不得超過60oC |
小床深 | 700mm |
採水流速(BV/Hr) | 20-40BV/Hr |
陽樹脂再生藥劑 | HCL 或 H2SO4 |
陰樹脂再生藥劑 | NaOH |
二、DUPONT超純水除硼樹脂UP7530螯合離子交換樹脂半導體級樹脂產品特點
高純度:在半導體制造等對水質要求高的行業(yè)中,能夠滿足超純水的質量標準。它可以將水中的硼含量降低到極低的水平,例如可以使硼的濃度降低到 ppt(萬億分之一)級別,確保生產過程不受硼雜質的干擾。
良好的化學穩(wěn)定性:在各種化學環(huán)境下,如不同的 pH 值范圍(通常在較寬的 pH 范圍內有效工作)和化學試劑存在的情況下,能夠保持其結構和性能的穩(wěn)定。這使得它可以適應半導體制造過程中可能涉及的多種化學處理步驟。
高效的再生性能:樹脂在吸附硼達到飽和后,可以通過合適的再生劑進行再生。再生過程相對簡單且高效,能夠使樹脂恢復到接近初始的吸附能力,從而降低使用成本并延長樹脂的使用壽命。
四、DUPONT超純水除硼樹脂UP7530螯合離子交換樹脂半導體級樹脂性 能:
操作交換容量
下列公式可決定每一公升樹脂可處理的大略體積
BV=500/TDS
BV(Bed Volume):可處理水體積,單位:公升(L)
TDS:處理水總溶解固體物含量,單位:毫當量/公升(meq/L)
五、DUPONT超純水除硼樹脂UP7530螯合離子交換樹脂半導體級樹脂再 生:
使用和維護注意事項
預處理:在使用樹脂前,需要對進水進行適當的預處理。例如,去除水中的懸浮物、有機物等雜質,以免這些雜質堵塞樹脂的孔隙或與樹脂發(fā)生不良反應,影響其除硼效果。
操作條件:應嚴格按照產品說明書的要求控制水流速度、溫度、pH 值等操作條件。合適的水流速度可以保證樹脂與水充分接觸,提高除硼效率;適宜的溫度和 pH 值有助于維持樹脂的性能穩(wěn)定。
再生程序:正確執(zhí)行再生程序是保證樹脂長期有效使用的關鍵。再生劑的選擇、濃度、再生時間和流速等參數都需要準確控制,以確保樹脂能夠充分再生而不受到損壞。