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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> 磁控濺射鍍膜機Sputter
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v 應用領域:巨磁電阻(GMR)、組合材料科學(CMS)、半導體、超導體、納米級器件、光子學、光伏(PV)、OLED(發(fā)光二極管)、有機薄膜
v 樣品尺寸:8英寸
v 濺射源:強磁靶、永磁靶,數(shù)量根據(jù)用戶定制
v 電源:直流電源、射頻電壓
v 真空系統(tǒng):超高真空
v 樣品臺加熱:至1100℃
v 控制系統(tǒng):全自動控制
v 進樣室:根據(jù)用戶需求定制
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