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氣密性檢測(cè)是工業(yè)生產(chǎn)中保障產(chǎn)品質(zhì)量和安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，尤其在新能源汽車(chē)、醫(yī)療器械、航空航天等領(lǐng)域，微小的泄漏可能導(dǎo)致產(chǎn)品失效甚至安全事故。它直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量、性能以及安全性。從航空航天到汽車(chē)制造，從電子設(shè)備到醫(yī)療器械，幾乎所有涉及密閉空間或流體傳輸?shù)漠a(chǎn)品都離不開(kāi)氣密性檢測(cè)。

隨著檢測(cè)需求向高精度、智能化方向演進(jìn)，直壓法、差壓式、流量法、氦質(zhì)譜檢漏法等主流技術(shù)呈現(xiàn)差異化發(fā)展格局。本文聚焦氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）在檢漏領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用，解析其技術(shù)要求與行業(yè)價(jià)值。

一、主流氣密性檢漏技術(shù)對(duì)比

1. 直壓法檢漏

直壓法是一種較為基礎(chǔ)且直接的檢漏方法。它通過(guò)向被測(cè)物體充入一定壓力的氣體，然后監(jiān)測(cè)壓力的變化來(lái)判斷是否存在泄漏。檢測(cè)操作過(guò)程是這樣的：對(duì)工件的被測(cè)容腔在一定壓力條件下（具體壓力參數(shù)由生產(chǎn)線檢測(cè)工藝規(guī)程決定）進(jìn)行充氣、保持一定時(shí)間后，切斷被測(cè)工件和氣源氣路測(cè)漏儀壓力傳感器記錄下此時(shí)的壓力示值，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間（數(shù)秒或數(shù)十秒、甚至更久）后，再次讀取壓力示值并和前次記錄的壓力示值進(jìn)行比較。若被測(cè)容腔有泄漏，則兩次壓力示值有一個(gè)差值。此差值大小反映工件在檢測(cè)時(shí)間周期內(nèi)的泄漏狀態(tài)，差值越大表示工件泄漏越嚴(yán)重。只要此差值在允許范圍內(nèi)，即可認(rèn)為被測(cè)工件合格。反之，為不合格。適用于中高泄漏率場(chǎng)景（如汽車(chē)油箱、家電殼體）。

2. 差壓式檢漏法

差壓型氣密儀的檢測(cè)操作過(guò)程和直壓型的差別主要是利用“標(biāo)準(zhǔn)品"作為參照物在相同的過(guò)程和狀態(tài)條件下，比較被測(cè)工件與“標(biāo)準(zhǔn)品"的差異來(lái)判斷被測(cè)工件是否合格。

其檢測(cè)過(guò)程如下：首先在氣密儀標(biāo)示的標(biāo)準(zhǔn)品端接上標(biāo)準(zhǔn)品（標(biāo)準(zhǔn)品可以是一個(gè)被用多種方法檢測(cè)合格并被確認(rèn)為可以作為衡量其他與之相同的被測(cè)工件標(biāo)準(zhǔn)的工件或特定制品），然后同時(shí)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)品與被測(cè)工件容腔充氣（充氣壓力、時(shí)間等參數(shù)由工藝程確定），經(jīng)過(guò)一段數(shù)秒或數(shù)十秒的平衡時(shí)間后，將標(biāo)準(zhǔn)品與工件被測(cè)容腔隔斷進(jìn)行數(shù)秒或數(shù)十秒的壓力監(jiān)視后比較二者的壓力示值差，這個(gè)壓力差就是工件被測(cè)容腔的壓力泄漏值，若其值在允許范圍內(nèi)則認(rèn)為被測(cè)品合格，否則判為不合格。適合電池包等微小泄漏檢測(cè)，但對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性要求苛刻.

3. 流量法檢漏（MFM330核心應(yīng)用場(chǎng)景）

流量式檢漏儀工作原理是向被檢工件內(nèi)不間歇充入一定壓力氣體，以質(zhì)量流量計(jì)感測(cè)充入工件氣體流量的變化，以此來(lái)判定工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內(nèi)。流量法的特點(diǎn)是測(cè)量信號(hào)與被測(cè)容積的大小無(wú)關(guān)，流量法檢漏是基于氣體流量變化來(lái)檢測(cè)泄漏,測(cè)量信號(hào)直接反映氣體泄漏量。流量法檢漏通常由正壓式和負(fù)壓式兩種。

正壓流量式在充氣時(shí)，若產(chǎn)品無(wú)泄漏，充滿后流量降為零；若有泄漏，儀器會(huì)持續(xù)檢測(cè)到氣體流量。

負(fù)壓流量式則是在抽負(fù)壓后，通過(guò)充入氣體的流量變化判斷泄漏情況。

若感測(cè)元件是差壓流量計(jì)則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質(zhì)量流量計(jì)則為質(zhì)量流量法，其檢漏儀為質(zhì)量流量檢漏儀。通常采用質(zhì)量流量法。對(duì)于泄漏速率小于 8.3 立方厘米/秒的零件，一般不采用這種檢測(cè)方法。

4. 氦質(zhì)譜檢漏法

在其他對(duì)泄漏檢測(cè)精度要求低于 0.001 立方厘米/秒的行業(yè)中，氦氣質(zhì)量光譜分析檢測(cè)方法被廣泛應(yīng)用。在氦氣質(zhì)量檢測(cè)方法中，被檢測(cè)設(shè)備用氦氣加壓，利用氦氣示蹤技術(shù)實(shí)現(xiàn)10?12 Pa·m3/s級(jí)超高靈敏度檢測(cè)，質(zhì)量流量由檢測(cè)室的質(zhì)量光譜采樣分析儀檢測(cè)出來(lái)。這種方法的設(shè)備成本、維護(hù)與氦氣成本昂貴、設(shè)備復(fù)雜，因此，該方法僅僅被典型地應(yīng)用在要求的設(shè)備的泄漏檢測(cè)中，如半導(dǎo)體、航天領(lǐng)域。

二、關(guān)鍵技術(shù)要求解析：

氣密性檢漏裝置的各種類(lèi)型在不同的工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，而MFM氣體質(zhì)量流量計(jì)作為核心部件，為這些檢漏裝置的高效、準(zhǔn)確運(yùn)行提供了有力支持。以愛(ài)拓利MFM330系列氣體質(zhì)量流量計(jì)為例，其采用高精度熱式傳感器測(cè)量原理、搭載溫度和壓力補(bǔ)償，基于AI自動(dòng)優(yōu)化補(bǔ)償算法，通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)傳感器的質(zhì)量流量，直接反映被測(cè)件的泄漏量。相較于傳統(tǒng)壓力傳感器僅監(jiān)測(cè)壓力變化，MFM330能夠消除溫度、氣體種類(lèi)等因素的干擾，提供更穩(wěn)定的檢測(cè)結(jié)果。其核心原理為熱擴(kuò)散式測(cè)量：氣體流經(jīng)加熱元件時(shí)帶走熱量，通過(guò)溫度差計(jì)算質(zhì)量流量。

1. 精度與分辨率：泄漏率檢測(cè)需達(dá)到0.1 SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）級(jí)別，MFM的精度需優(yōu)于±1% R.D，部分場(chǎng)景要求±0.5%，流量分辨率對(duì)檢測(cè)精度亦有重要意義，0.001sccm的分辨率將有利于及時(shí)發(fā)現(xiàn)流量變化。

2. 響應(yīng)時(shí)間：工業(yè)產(chǎn)線要求檢測(cè)周期≤10秒，MFM的響應(yīng)時(shí)間需≤1s，確保數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)性。  

3. 環(huán)境適應(yīng)性: 溫度及壓力補(bǔ)償：需內(nèi)置溫度和壓力補(bǔ)償，消除-20~65℃環(huán)境波動(dòng)和不同區(qū)域氣壓波動(dòng)的影響。  

4. 校準(zhǔn)與維護(hù):定期零點(diǎn)校準(zhǔn)：防止傳感器漂移。  

5. 數(shù)據(jù)接口與智能化：除了傳統(tǒng)的模擬量通訊之外，集成RS485、EtherCAT等工業(yè)通訊協(xié)議，支持與PLC或上位機(jī)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)數(shù)據(jù)追溯與分析。

三、典型應(yīng)用場(chǎng)景  

新能源汽車(chē)電池包檢測(cè)：電池包對(duì)氣密性要求嚴(yán)苛（泄漏率＜0.5 SCCM），MFM可快速識(shí)別殼體焊接或密封圈缺陷。  

醫(yī)療器械密封性測(cè)試：如注射器、呼吸面罩等，MFM的高分辨率（0.5% F.S.）確保微小泄漏不漏檢。  

電子元件防水檢測(cè)：手機(jī)、智能穿戴設(shè)備中，MFM快速高效同步檢測(cè)，提升效率。

四、結(jié)語(yǔ)  

MFM氣體質(zhì)量流量計(jì)在檢漏裝置中的成功應(yīng)用，標(biāo)志著氣密性檢測(cè)從“經(jīng)驗(yàn)判斷"邁向“數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)"。未來(lái)，隨著傳感器技術(shù)與算法的持續(xù)升級(jí)，MFM將進(jìn)一步推動(dòng)工業(yè)檢漏向高效、高精度、低成本方向發(fā)展，成為智能制造質(zhì)量控制體系的核心組件之一。MFM作為流量法檢漏的技術(shù)支點(diǎn)，正在精度、可靠性、智能化維度持續(xù)突破。愛(ài)拓利等本土品牌通過(guò)正向研發(fā)構(gòu)建核心技術(shù)壁壘，為3C電子、醫(yī)療器械、氫能儲(chǔ)運(yùn)等領(lǐng)域提供高性價(jià)比解決方案，推動(dòng)中國(guó)制造向質(zhì)量強(qiáng)國(guó)邁進(jìn)。