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貨物所在地：江蘇蘇州市
所在地： 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)
更新時間：2025-02-08 15:07:03
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MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運放電路等部件組成。
流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細(xì)管時產(chǎn)生的溫度場變化來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電路放大、濾波處理，處理后的信號采集進(jìn)處理器芯片，再通過氣體流量外標(biāo)法和溫壓補償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實氣體流量值。
氣體實際流量值與流量設(shè)定值進(jìn)行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制.
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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