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MFC330-氫氣流量控制器
  • MFC330-氫氣流量控制器

貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)

更新時間:2025-02-21 10:29:36

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氫氣流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氫氣流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥氣體
  • 氣體種類
    98+氣體可選
  • 量程
    0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
    0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
  • 測量范圍
    0.5%F.S.(1:200)
  • 控制范圍
    1%-100% FS.(1:100)
  • 準(zhǔn)確度
    ±0.5% F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.2%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 控制響應(yīng)時間
    <3 秒
  • 預(yù)熱時間
    5 min(T95),30 分鐘最佳
  • 閥門
    常閉式

愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成。總部蘇州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學(xué)科技園。愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制。愛拓利擁有自己的研發(fā)團(tuán)隊,具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力,是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè),更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件(高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥)的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時,愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的檢測標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量控制體系,并通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。通過標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn),規(guī)范化管理,愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗積淀,愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議,氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定。


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