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儀器簡介:
    用旋片式機械泵及油擴散泵組成真空機組，使系統(tǒng)獲得高真空。觀察并利用復合真空計測量系統(tǒng)真空度。
    當獲得所需滿意的高真空要求時（真空度不低于10-2Pa），用真空蒸發(fā)鍍膜的方法使材料中分子或原子的熱振動能量超過表面的束縛能，從而使大量分子或原子蒸發(fā)或升華，并直接沉淀在基片上形成薄膜。

技術參數(shù):
1、機械泵:抽速0.5（升／秒）,極限真空0.06（帕）,轉(zhuǎn)速：1400（轉(zhuǎn)／分）
2、油擴散泵:  三級油擴散泵內(nèi)60升/秒;極限壓強是1×10-5 Pa 
3、外形：鐘罩式（內(nèi)徑300mm）
4、蒸發(fā)方式：電加熱；電子束蒸發(fā)
5、基片旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動
6、控制方式：手動/自動

特 點：
   由高真空鍍膜工作室、真空測量真空機組組成?？赏瓿山虒W大綱中真空技術實驗要求的多項內(nèi)容?？筛鶕?jù)實驗的具體要求選擇、增減設備進行組合。