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分辨率

3.0 nm（30 kV）、8 nm（3 kV）、15 nm（1 kV）

低真空模式 ^*1

4.0 nm（30 kV）

放大倍率

× 5 ～× 300,000（圖像尺寸128 mm × 96 mm）

預(yù)設(shè)倍率

5檔、用戶可以設(shè)定

標(biāo)準(zhǔn)菜單

有

客戶菜單

觀察條件（照明系統(tǒng)、圖像模式、樣品室壓力^*1) 樣品臺

圖像模式

二次電子像、REF像、成份像^*1、形貌像^*1、立體像^*1

加速電壓

0.5 kV ～ 30 kV

燈絲

工廠預(yù)對中

電子槍

*自動(dòng)、手動(dòng)調(diào)整可能

聚光鏡

變焦

物鏡

超級圓錐型物鏡

物鏡光闌

3檔、帶XY微調(diào)

消象散記憶

有

圖像電位移

± 50 μm (工作距離 10 mm)

自動(dòng)功能

聚焦、亮度/襯度、消象散

樣品臺

大型全對中5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

X: 125 mm、Y: 100 mm、Z: 5 mm ～ 80 mm

傾斜: −10°～＋90°、旋轉(zhuǎn): 360°

參照圖像（導(dǎo)航器^*3)

四幅圖像

樣品交換

拉出式

zui大樣品尺寸

直徑150 mm

PC

IBM PC/AT 兼容

OS

Windows®7

顯示器

19英寸LCD、1臺或者2臺^*2

圖像存儲(chǔ)

640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920, 5,120 × 3,340

兩種實(shí)時(shí)圖像顯示

有

全屏顯示

有

偽彩色

有

分屏顯示

兩幅圖像、四幅圖像

數(shù)字放大顯示

有

雙放大倍率

有

網(wǎng)絡(luò)

以太網(wǎng)

測長功能

有

圖像格式

BMP、TIFF、JPEG

圖像自動(dòng)保存

有

真空系統(tǒng)

*自動(dòng)、DP: 1臺、RP: 1或者2臺^*1

真空模式切換^*1

通過操作菜單、1分鐘以內(nèi)

低真空壓力^*1

10 ～ 270 Pa

JED-2300 EDS^*2

有（具體規(guī)格請參照JED-2300樣本型錄）