雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀是直接分析導電材料中的固態(tài)痕量元素的較佳工具,能在一次分析過程中測定基體元素(~100%)、主體元素(%)、微量元素(ppm)、痕量元素(ppb)和超痕量元素(ppt)。在元素定量分析上,具有以下幾個優(yōu)點:
1、它采用直接取樣技術(shù),需測試的導電樣品經(jīng)過簡單的機械處理和表面清潔,無需要樣品轉(zhuǎn)化為溶液,即可進行元素定量分析,同傳統(tǒng)的酸溶解測試方法相比較,二次污染小。因此,在測試分析定量上準確性更高。
2、雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀將高效率輝光放電離子源與高分辨率質(zhì)譜結(jié)合,具備高的分辨率和靈敏度、極低的檢測限、良好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性和一次74種元素分析足以滿足太陽能級硅材料分析的要求。該儀器同上海硅酸鹽研究所及目前規(guī)模較大的埃文思分析集團采用相同的測試標準和測試方法,并且具有更低的檢測限,因此測試結(jié)果的精確度上具有一定的優(yōu)勢。日本三津和化學藥品株式會社使用電感耦合等離子體--原子發(fā)射光譜法(ICP-AES),樣品需經(jīng)特定的溶解方法溶解,二次污染較大,并且B的檢出限為5ppm、最小的檢測限如Ag、Ba、Co等為1ppm,其余大部分元素檢測限在5-10ppm間。
3、本產(chǎn)品是硅行業(yè)乃至半導體行業(yè)分析材料純度通用手段,它能精確定量分析太陽能級硅材料中影響其性能的關(guān)鍵雜質(zhì),是分析太陽能級硅材料的重要和可靠的手段,比如B、P、Fe。能測試的元素大部分在亞ppb級。
目前,雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀是太陽能級硅材料分析測試平臺的重要儀器之一。
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