半導(dǎo)體行業(yè)中常用的兩種有機(jī)溶劑是異丙醇（IPA）和丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）。兩種有機(jī)溶劑都必須檢測痕量金屬污染物的含量，因?yàn)檫@些物質(zhì)的存在將會對存儲設(shè)備的可靠性產(chǎn)生不利影響。由于具有快速測定各種工藝化學(xué)品中超痕量濃度待測元素的能力，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）已成為了質(zhì)量控制*的分析工具。本應(yīng)用報告證明了NexION 300 ICP-MS去除干擾，從而在使用高溫等離子體的條件下通過一次分析就能夠很容易的對IPA和PGMEA中全部痕量水平的雜質(zhì)元素進(jìn)行測定的能力。這一實(shí)驗(yàn)在一次測定中同時使用標(biāo)準(zhǔn)模式和反應(yīng)模式可以得到的分析結(jié)果。
提供商 |
珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司 | 下載次數(shù) |
233次 |
資料大小 |
1.1MB | 資料類型 |
PDF 文件 |
資料圖片 |
-- | 瀏覽次數(shù) |
277次 |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
16
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務(wù)