產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
54X工業(yè)檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡,其采用了優(yōu)等的無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng),圖象清晰,襯度好,是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)顯微鏡適用。可進(jìn)行明暗場、落射偏光和微分干涉的觀察,廣發(fā)用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、裂縫探究、精密模具的監(jiān)測分析。該顯微鏡配有三目鏡管可選配攝像裝置和攝影裝置,并連接電腦再配置測量軟件或金相圖像分析軟件,便可成為一臺工業(yè)計算機(jī)輔助檢測顯微鏡。
技術(shù)規(guī)格: 儀器成套性:
54X 三目工業(yè)檢測顯微鏡 物鏡:
(放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑NA/工作距離mm)無窮遠(yuǎn)長工作距離平場物鏡5X/0.1/29.4、10X/0.25/16、
20x/0.40/10.6、40X/0.60/5.4 平場目鏡:
(放大倍數(shù)/視場直徑mm)10X/25 分劃目鏡: 10X/20(格值0.10毫米) 總放大倍數(shù): 50X-500X 物鏡轉(zhuǎn)換器: 五孔帶DIC、明暗場插孔 調(diào)焦系統(tǒng): 粗微動同軸,采用齒輪齒條傳動機(jī)構(gòu) 調(diào)焦距離: 30毫米(微動格值0.002毫米) 平臺: 雙層移動平臺尺寸350*310毫米
玻璃平臺尺寸268*198毫米 移動范圍: 250*250毫米 簡易偏光裝置: 檢偏鏡可360°傳動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 DIC暗場裝置: DIC、暗場插件均可移出光路 落射照明: 帶孔徑光欄和市場光欄;鹵素?zé)?2V100W,亮度可調(diào) 儀器重量: 約35kg 選購件 : 目鏡15//17、20/12.5;無窮遠(yuǎn)平場物鏡50X/0.55/5.1、80X/0.75/4.0;
攝影裝置和攝像裝置
規(guī)格 數(shù)量 顯微鏡主機(jī): 1臺 目鏡: 1對 分劃目鏡: 10X、0.1毫米十字分劃板 1只 物鏡: 5X、10X、20X、40X 各1只 濾色鏡片: 綠、藍(lán)、磨砂玻璃 各1片 簡易偏光裝置: 1套 側(cè)微尺: 每格刻度0.01mm 1塊 照明器: 1件