將低溫泵并入真空系統(tǒng)中，達(dá)到清潔的超高真空環(huán)境。真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項(xiàng)，低溫泵的選型計(jì)算，安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。通過(guò)嚴(yán)格把關(guān)各研發(fā)環(huán)節(jié)，按照超高真空規(guī)范進(jìn)行清洗，近年來(lái)無(wú)油真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)為代表的領(lǐng)域被引進(jìn)并廣泛應(yīng)用。

  作為完整的抽氣系統(tǒng)，低溫泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機(jī)。現(xiàn)在得到廣泛應(yīng)用的都是制冷機(jī)式低溫泵，其核心是低溫制冷機(jī)。

  抽氣面就可以冷凝沸點(diǎn)溫度較低的氣體，從而抽出大量的氣體。這種利用低溫抽氣面將氣體冷凝的抽氣泵叫低溫泵，或冷凝泵。是利用低溫介質(zhì)降低表面溫度后將氣體冷凝、將被抽空間的壓力降低，而獲得真空或維持真空狀態(tài)的裝置。

  選擇低溫泵的優(yōu)勢(shì)有：

  1、抽氣范圍寬，可快速獲得理想的超高真空環(huán)境，對(duì)被抽氣體無(wú)選擇，雜質(zhì)顆粒而不影響系統(tǒng)工作；

  2、可以任意角度安裝，沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件，不需要前級(jí)泵，運(yùn)行和維護(hù)成本低；與口徑相同的其它真空泵相比，低溫泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；

  3、壓縮機(jī)斷水后可以自保護(hù)，所以可以實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守。