美國 KRi 霍爾離子源不規(guī)則電子晶片蒸鍍前清洗
上海伯東美國 KRi 霍爾離子源 EH 400 成功應用于蒸發(fā)鍍膜機, 協(xié)助客戶完成不規(guī)則電子晶片蒸鍍前清洗, 經(jīng)過清洗后的晶片鍍膜, 膜層厚度均勻性及附著牢固度都明顯提高.

KRi 霍爾離子源在不規(guī)則電子晶片蒸鍍中的作用
設備: 進口蒸發(fā)鍍膜機, 加裝離子源
離子源型號: KRi 霍爾離子源 EH 400
預清潔應用: 通過離子 Ar 轟擊晶片表面, 去除物理或化學吸附的污染物, 清潔后在進行蒸鍍, 膜層厚度均勻性及附著牢固度都明顯提高.
去除物理吸附污染: 去除晶片表面污染, 如水, 吸附氣體, 碳氫化合物殘留
去除化學吸附污染: 去除天然和粘合材料. 如表面氧化物, 通常去除 < 100?


美國 KRi 霍爾離子源  eH 400 特性
高離子束電流滿足沉積率的臨界到達比
低離子能量通過避免高能離子對表面和界面的轟擊損傷而使產(chǎn)量更大化
寬束, 發(fā)散離子束通過均勻地覆蓋沉積區(qū)從而增加每次加工零件數(shù)量來提高吞吐量
堅固耐用的模塊化結構降低了備件耗材和維護時間, 減少維護成本和停機時間
無柵網(wǎng), 緊湊設計, 方便加裝, 提供離子輔助功能

KRi 霍爾離子源 eH 400 技術參數(shù):

上海伯東代理美國 KRi 離子源適用于安裝在 MBE 分子束外延, 濺射和蒸發(fā)系統(tǒng), PLD 脈沖激光系統(tǒng)等, 在沉積前用離子轟擊表面, 進行預清潔 Pre-clean 的工藝, 對基材表面有機物清洗, 金屬氧化物的去除等, 提高沉積薄膜附著力, 純度, 應力, 工藝效率等！ 上海伯東是美國 KRi 離子源中國總代理

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項成果. KRi 離子源在真空環(huán)境中實現(xiàn)薄膜沉積, 干式納米刻蝕和修改材料表面性能, 廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域.

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上海伯東: 羅小姐