英國PORVAIR博韋爾微電子學氣體處理高純化學過濾
微電子設備
博韋爾為微電子行業(yè)制造廣泛的高純度多孔介質以及高效可靠的過濾產品。包括一系列產品,用于下面制造行業(yè):
半導體
我們的優(yōu)質 POU 過濾器經過廣泛測試,確保滿足半導體制造領域供氣系統(tǒng)的關鍵過濾效率、精確的流量控制和安全要求。
光伏
制造光伏設備的薄膜沉積工藝,關鍵的輸氣和供氣 系統(tǒng)選用了 Porvair GasProTM 高純度過濾器。
高亮度發(fā)光二極管 (HB LED)
在高亮度發(fā)光二極管制造中,Porvair GasProTM 過 濾器能夠去除工藝氣體中的亞微米顆粒。
在半導體和微電子行業(yè)的關鍵氣體處理和輸送應用中,這些產品確保極度清潔,這些應用包括:
氣體安全管理
排氣通風系統(tǒng)
流量控制
減少顆粒,提高良品率
層流擴散
壓力緩沖
阻燃。
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