在材料科學、生物醫(yī)學及納米技術等領域,掃描電鏡(SEM)作為重要的分析工具,其應用日益廣泛。澤攸科技推出的臺式掃描電鏡,憑借其緊湊的設計、高清晰度的成像及便捷的操作流程,受到了科研人員的青睞。以下將詳細介紹澤攸臺式掃描電鏡的使用方法。
一、準備工作
1.環(huán)境準備:確保操作環(huán)境相對干燥、無塵、無震動,以保證掃描效果的穩(wěn)定和準確。
2.樣品準備:樣品表面需進行導電處理,如金屬噴霧或蒸鍍,以消除電荷積累對成像的影響。同時,樣品表面應光滑平整,避免劃痕或污染。
3.設備檢查:檢查掃描電鏡各部件是否完好,電源連接是否穩(wěn)定,真空泵是否正常工作。
二、開機與樣品放置
1.開機:按照正確的順序開啟各部件的電源,先開啟電鏡控制器,再開啟高壓電源等。
2.放入樣品:將準備好的樣品放置在樣品臺上,并固定好。
3.抽真空:啟動真空泵,將真空度抽至0.01并保持,直至開槍按鈕常亮后,點擊開槍按鈕。
三、參數設置與圖像調整
1.電壓設置:根據需要設定合適的電壓值。
2.光斑直徑與亮度對比度:將“光斑直徑”調整至“粗”或“中”,勾選“自適應”按鈕,調整“亮度”和“對比度”,直至出現(xiàn)較為明亮的圖像。
3.聚焦與微調:粗調“聚焦”條,使圖像初步清晰。然后,在低倍數下將倍數放大至大于所需拍攝倍數,如拍攝1000倍則放大至5000或10000倍,通過“聚焦微調”圓鈕調整至圖像清晰。隨后,切換至“鏡組配置”,調整“消像散”條,進一步優(yōu)化圖像清晰度。
四、拍照與保存
1.倍數調整:將倍數調整至所需拍照倍數。
2.拍照設置:選擇合適的采集幀數和平均點數。關閉十字準心,準備拍照。
3.拍照與保存:點擊拍照按鈕,完成拍攝。及時保存圖像和數據,以免丟失。
五、高倍拍攝與SE模式切換
對于需要拍攝高倍圖像的情況,可重復上述低倍拍攝步驟,并在調焦、像散調整等環(huán)節(jié)更加精細。此外,澤攸臺式掃描電鏡還支持SE模式拍攝,通過點擊“基礎”選項卡中的“se”按鈕,輸入合適的收集電壓并調整se增益,即可切換到SE模式進行觀察和拍照。
六、關機與維護
1.關機:按照正確的順序關閉各部件電源,先關閉高壓電源,再關閉電鏡控制器等。
2.維護:定期對掃描電鏡進行清潔和維護,如清理樣品室、檢查真空泵等部件的工作狀態(tài)。注意在維護過程中遵循安全規(guī)范,如斷電、拔掉電源線等。
通過以上步驟,用戶可以輕松掌握澤攸臺式掃描電鏡的使用方法,并在科研和生產中發(fā)揮其強大的分析功能。
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