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日本博爾波ballwave 超微量水分測(cè)定儀
水分計(jì)有稱為水分測(cè)定儀、水分測(cè)試儀，是一種快速測(cè)量水份含量的儀器，多用于食品、化工、塑膠、農(nóng)林等各個(gè)行業(yè)，原料、生產(chǎn)過程中、實(shí)驗(yàn)室最終品控等環(huán)節(jié)的水份控制。
那應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的水分計(jì)有哪些呢？
實(shí)現(xiàn)“”微量水分測(cè)量的系列*機(jī)型量范圍從露點(diǎn)-110°C到-20°℃露點(diǎn)測(cè)量外，背景氣體成分(相當(dāng)于平均分子量)也以% 水平檢測(cè)背景氣體:測(cè)量水含量的氣體天然氣到高純度氣體，這一單元涵蓋應(yīng)用示例工業(yè)氣體制造過程/出貨時(shí)的質(zhì)量控制，半導(dǎo)體制造材料氣體純度控制FalconTrace是使用球狀SAW傳感器定量測(cè)量工業(yè)用氣體和天然氣中含有極微量的水分子的裝置。響應(yīng)速度極快，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)水分量的變化，可測(cè)量水分量和背景氣體組成分析兩項(xiàng)?？梢跃_測(cè)量氣體中的水分濃度，達(dá)到1ppb（10億分之一）的水平。
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