介電常數(shù)(Dielectric Permittivity)和磁導率(Permeability)是描述介電材料的電磁特性的主要參數(shù)。它們是隨著頻率、溫度等參數(shù)變化的。介電常數(shù)的重要性在于,它是研究材料與電磁波相互作用時的核心參數(shù)之一。
例如,高介電常數(shù)材料是當前微電子行業(yè)熱門的研究課題之一。它的應用為解決當前半導體器件尺寸縮小導致的柵氧層厚度極限問題提供了可能性,同時利用一些高介電常數(shù)材料具有的特殊物理特性,可實現(xiàn)具有特殊性能的新型器件。
而低介電常數(shù)材料的研究也在世界范圍內展開,這些低介電常數(shù)材料需具備以下性質:在電性能方面,要有低損耗和低泄漏電流;在機械性能方面,要有高附著力和高硬度,否則外力將易于跨越材料的降伏強度,勢必導致斷線危機,進而破壞組件的運作;在化學性能方面,要能耐腐蝕和有低吸水性;在熱性能方面,要有高穩(wěn)定性和低收縮性。由于普遍采用的介電材料SiO2,已經(jīng)不能滿足超大規(guī)模集成電路(ULSI)發(fā)展的需求,所以多年來人們一直都在努力尋找各種合適的低介電常數(shù)材料。
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