手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
神港精機SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設(shè)備
這是以納米壓印模具用ICP蝕刻系統(tǒng)“SERIO”的基本結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，
針對金屬定制了腔室內(nèi)部結(jié)構(gòu)和氣體系統(tǒng)的最新蝕刻系統(tǒng)。
兼容最新的半導(dǎo)體和MEMS工藝，我們實現(xiàn)了Al和Cr的納米級線寬蝕刻。
與傳統(tǒng)的SERIO相比，它可以蝕刻廣泛的基材和應(yīng)用，包括除
Si晶圓之外的基材、藍寶石和GaAs等化合物半導(dǎo)體晶圓、光掩模用玻璃和石英。
與8英寸晶圓兼容的裝載鎖定類型是標(biāo)準(zhǔn)配置，并且可以根據(jù)工藝進行定制，例如加熱臺和更大的腔室。
與經(jīng)過驗證的多室系統(tǒng)相結(jié)合，可以非常輕松地部署到全面的大規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用中。
配備多個蝕刻室和一個SWP灰化室，可以實現(xiàn)高產(chǎn)量、一致的金屬膜蝕刻工藝。
我們使用我們的內(nèi)部演示機進行過程測試，提供好的硬件和軟件來滿足您的需求。
我們?yōu)榘雽?dǎo)體、MEMS、光掩模、高頻器件、光子器件等從工藝開發(fā)到量產(chǎn)提供可靠的支持。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心