菲佐干涉儀是最靈活的干涉儀，可通過非接觸配置測量平面和球面。它的參考光路和測量光路相同，因此是一種結(jié)構(gòu)緊湊、抗震的系統(tǒng)。Fizeau Interferometer與Fabry-Perot interferometer相似，都由兩個反射面組成。不過，在菲佐干涉儀中，第二個表面通常是全反射的。角度分束器捕捉參考光束和測量光束。

Holmarc 菲佐干涉儀采用開放式垂直配置。它適用于平面和球面的常規(guī)測量。光源采用 DPSS 激光器。垂直方向的光學布局便于放置測試元件。CCD 攝像機捕捉到的條紋由計算機進行分析。該設備既可用于生產(chǎn)過程中的光學質(zhì)量控制，也可用于實驗室的常規(guī)檢測。

                                                                                                                      功能

可進行高精度平面度測量

使用靜態(tài)條紋分析軟件

儀器采用直立式結(jié)構(gòu)，便于固定測試樣品

使用高質(zhì)量的像差校正光學元件

                                                                                                                      規(guī)格

樣品尺寸：≤ 100 毫米

參考平面：λ/20 P V 直徑 100 mm 厚度 25 mm

精度：≤ λ / 20 PV

激光源：DPSS 5.0 mW 532 nm

校準：通過 傾斜樣品底座

攝像頭：CCD 1280 x 1024 分辨率

分析：使用 條紋分析軟件

重量：約 25 千克

電源：220 伏 ，50 赫茲

                                                                                                                  包括的組件

532nm (5 mW) DPSS 激光源、

空間濾波器組件

分光鏡

帶支架的準直透鏡

帶支架的參考平面

測試平面支架

帶 CCD 等的變焦鏡頭