光電檢測(cè)作為光學(xué)與電子學(xué)相結(jié)合而產(chǎn)生的一門新興檢測(cè)技術(shù)，具有精度高、速度快、非接觸、壽命長(zhǎng)、易于自動(dòng)化和智能化等優(yōu)點(diǎn)。其主要通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)把待檢測(cè)的非電量信息變換成為便于接受的光學(xué)信息，然后用光電探測(cè)器件將光學(xué)信息量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸，從而了解待檢測(cè)物的光電性能?；诠怆姃呙铚y(cè)量技術(shù)的多模態(tài)光電檢測(cè)顯微鏡，兼容了極紫外-太赫茲波段的激發(fā)光源，通過(guò)振鏡和電動(dòng)位移臺(tái)相結(jié)合的掃描方式，可以在亞微米分辨率下，實(shí)現(xiàn)待測(cè)物在變溫環(huán)境中的光電流和光電壓、拉曼光譜、熒光壽命等多種特征信號(hào)的測(cè)試，從而實(shí)現(xiàn)在多個(gè)維度對(duì)待測(cè)物進(jìn)行相應(yīng)的光電表征。當(dāng)前，由于多模態(tài)光電檢測(cè)顯微鏡具有高度靈活的測(cè)試維度和兼容眾多主流和儀器儀表，使其被廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究、光伏器件檢測(cè)、材料微加工和激光改性、定制化檢測(cè)等眾多領(lǐng)域。

燭龍™系列中的多模態(tài)光電顯微鏡是一臺(tái)具有超高穩(wěn)定性的多功能光電綜合測(cè)試和微加工系統(tǒng)，可根據(jù)客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統(tǒng)集成了電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)和振鏡的掃描方式，可實(shí)現(xiàn)瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)下的光電流測(cè)試和掃描成像，熒光壽命測(cè)試和掃描成像，拉曼光譜測(cè)試，二次諧波測(cè)試，熒光光譜采集，發(fā)射和吸收等光譜端的測(cè)試和掃描成像。除此之外，整套系統(tǒng)可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發(fā)的低溫系統(tǒng)進(jìn)行相關(guān)的變溫測(cè)試以及器件表面的微加工和缺陷標(biāo)記。多模態(tài)光電顯微鏡將為眾多新質(zhì)生產(chǎn)力領(lǐng)域提供強(qiáng)大的支持，助力國(guó)內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展和科技創(chuàng)新。

燭龍™系列多模態(tài)光電顯微鏡產(chǎn)品亮點(diǎn)：

超寬的多波長(zhǎng)激發(fā)光源

- 極紫外-太赫茲波段的超寬譜線覆蓋范圍(266nm-0.8THz)

- 多種可選的穩(wěn)態(tài)光源和瞬態(tài)光源

- 提供激光功率和頻率的軟件控制

多功能測(cè)試樣平臺(tái)

- 支持直流，交流以及高頻探針（漏電流<100fA）

- 支持常溫和變溫下的引線鍵合測(cè)試（10K-450K）

- 支持常溫和變溫下的探針測(cè)試（77K-450K）

- 兼容2450，4200，6221等多種源表

- 兼容OE1201，SR810等多種鎖相放大器

多功能測(cè)試和微加工模組

- 支持光電流測(cè)試和掃描成像

- 支持二次諧波和電致發(fā)光測(cè)試

- 支持器件表面的微加工和缺陷標(biāo)記

- 支持電動(dòng)位移臺(tái)和振鏡的多種掃描方式

- 支持熒光壽命和拉曼光譜測(cè)試和掃描成像

系統(tǒng)高度自動(dòng)化

- 電動(dòng)顯微聚焦

- 多種可選的光采集模式

- 瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)光源和光路的電動(dòng)切換

- 線偏振光和圓偏振光的電動(dòng)偏振測(cè)試