零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種高精度測(cè)量技術(shù)。以下是對(duì)這一技術(shù)的詳細(xì)介紹：

一、經(jīng)典邁克爾遜干涉原理

邁克爾遜干涉儀是一種利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉的光學(xué)儀器，它是干涉儀之一，為光學(xué)干涉測(cè)量中各類(lèi)干涉儀的原型。其原理主要是利用兩束相干光波在空間某點(diǎn)相遇時(shí)相互疊加，形成穩(wěn)定的明暗相間的干涉條紋，當(dāng)被測(cè)物體發(fā)生移動(dòng)時(shí)，會(huì)引起干涉條紋的移動(dòng)，從而可以測(cè)量物體的微小位移。

二、零差式激光干涉技術(shù)的出現(xiàn)與發(fā)展

零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上，結(jié)合激光技術(shù)而發(fā)展起來(lái)的一種高精度測(cè)量技術(shù)。它采用穩(wěn)頻激光器發(fā)出的單色激光作為光源，通過(guò)干涉儀產(chǎn)生兩束相干光波，一束作為參考光波，另一束作為測(cè)量光波。當(dāng)測(cè)量光波的光程發(fā)生變化時(shí)，會(huì)引起干涉條紋的移動(dòng)，從而可以測(cè)量物體的位移或形變。

三、零差式激光干涉技術(shù)的特點(diǎn)

高精度：由于激光具有優(yōu)秀的單色性和相干性，因此零差式激光干涉技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)較高的測(cè)量精度。

非接觸式測(cè)量：該技術(shù)采用光學(xué)方法進(jìn)行測(cè)量，無(wú)需與被測(cè)物體直接接觸，避免了接觸式測(cè)量可能帶來(lái)的誤差和損傷。

動(dòng)態(tài)響應(yīng)快：激光干涉儀能夠?qū)崟r(shí)響應(yīng)被測(cè)物體的變化，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)量。

測(cè)量范圍廣：通過(guò)調(diào)整干涉儀的結(jié)構(gòu)和參數(shù)，可以適應(yīng)不同測(cè)量范圍的需求。

四、零差式激光干涉技術(shù)的應(yīng)用

零差式激光干涉技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：

機(jī)床精度檢測(cè)與校準(zhǔn)：用于測(cè)量機(jī)床各軸線性運(yùn)動(dòng)的位移、角度等參數(shù)，幫助調(diào)試和校準(zhǔn)機(jī)床的加工精度。

精密加工工藝監(jiān)測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)床在加工過(guò)程中工件表面的動(dòng)態(tài)位移和直線度等參數(shù)，評(píng)估加工質(zhì)量和穩(wěn)定性。

光學(xué)元件檢測(cè)：用于檢測(cè)透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的形狀、曲率半徑等參數(shù)。

位移傳感器檢定：利用激光干涉原理制作的高精度位移傳感器，可用于各種位移測(cè)量場(chǎng)合。

五、總結(jié)

零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種高精度測(cè)量技術(shù)。它采用激光作為光源，具有非接觸式測(cè)量、高精度、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床精度檢測(cè)、精密加工工藝監(jiān)測(cè)、光學(xué)元件檢測(cè)以及位移傳感器檢定等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。隨著激光技術(shù)的不斷發(fā)展和完善，零差式激光干涉技術(shù)將在更多領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實(shí)時(shí)”動(dòng)態(tài)/靜態(tài) 微納級(jí)3D輪廓測(cè)量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實(shí)現(xiàn)優(yōu)秀的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測(cè)量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測(cè)量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測(cè)振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測(cè)量。

實(shí)際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測(cè)量硅片表面粗糙度測(cè)量，Ra=0.7nm

2，毫米級(jí)視野，實(shí)現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

3，優(yōu)秀的“高深寬比”測(cè)量能力，實(shí)現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開(kāi)口寬度測(cè)量。