應(yīng)用廣泛
海德漢公司的長度計(jì)適用于多種應(yīng)用。自動(dòng)檢測設(shè)備、手動(dòng)測量站或定位設(shè)備－無論是長度、間距、厚度、高度或直線位移都可以用海德漢公司的長度計(jì)快速、可靠和的測量。
測量原理
測量基準(zhǔn)
海德漢公司的長度計(jì)具有量程大、精度高、精度穩(wěn)定的特點(diǎn)。其技術(shù)基礎(chǔ)是光電
掃描。海德漢公司的直線光柵尺采用實(shí)物測量基準(zhǔn)，即玻璃或玻璃陶瓷基體的式或增量式光柵尺。這些測量基準(zhǔn)支持大測量范圍，對振動(dòng)和沖擊不敏感，并具有確定的溫度特性。測量基準(zhǔn)的精度不受大氣壓力和相對濕度變化的影響－這是海德漢公司的長度計(jì)能夠長期穩(wěn)定的先決條件。
海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。? AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，典型柵距40 μm? METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，典型柵距20 μm
? DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵
距20 μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8 μm）
? SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，*抗污能力，典型柵距不超過8 μm
? OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，超高反光性能，典型柵距不超過2 μm
這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線
機(jī)制造。DIADUR相位光柵，刻線高度約0.25 μmDIADUR光柵
測量步驟
增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計(jì)算自某點(diǎn)開始的增量數(shù)（測量步距數(shù)）獲得。由于必須用參考點(diǎn)確定位置值，因此光柵尺上還刻有一個(gè)參考點(diǎn)軌。參考點(diǎn)確定的光柵尺位置值可以到一個(gè)信號(hào)周期。因此，必須通過掃描參考點(diǎn)建立基準(zhǔn)點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)。
測量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。位置信息來自光柵碼盤，它由一系列碼組成。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)用于細(xì)分處理后得到位置值，同時(shí)也能生成供選用的增量信號(hào)（與接口類型有關(guān)）。光電掃描大多數(shù)海德漢公司光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。對測量基準(zhǔn)的光電掃描為非接觸掃描，因此無磨損。這種光電掃描方法能檢測到非常細(xì)的線條，通常不超過幾微米寬，而且能生成信號(hào)周期很小的輸出信號(hào)。測量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。海德漢公司的直線光柵尺采用
兩種掃描原理：

? 成像掃描原理用于20 μm至大約
40 μm的柵距。
? 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵，
例如8 μm。