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MFC-1 氬氣流量控制器
參考價(jià) | ¥ 4500 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 成都維克安科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) MFC-1
- 產(chǎn)地 成都
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/6/5 14:47:51
- 訪問次數(shù) 175
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- 氣體質(zhì)量流量計(jì)
1
量程范圍
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500...)SCCM
(0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...) SLM
2
準(zhǔn)確度
+1.0%F.S
3
線性
+0.5~1.5%F.S
4
重復(fù)精度
+0.2%F.S
5
響應(yīng)時(shí)間
電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec
6
工作壓差
(0.1~0.5)MPa
7
耐壓
3MPa
8
工作環(huán)境溫度
0~70℃
9
數(shù)字量
RS485 MODBUS協(xié)議
10
模擬量
DC 0~5V ,4~20mA 可選
11
供電
DC +15V/24V 可選,流量計(jì)<400mA,控制器<600mA
12
電氣連接
DB15
13
漏率
1×10-8SCCSHe
14
底座材質(zhì)
316L不銹鋼
15
密封材質(zhì)
氟橡膠,丁晴橡膠,氯丁橡膠
16
氣路接頭
Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞
使用方法和操作步驟
開機(jī)操作
檢查各設(shè)備連接處應(yīng)無泄漏現(xiàn)象,,氣源的溫度和壓力應(yīng)穩(wěn)定,按照產(chǎn)品說明電路連接正確之后通電。
與流量顯示儀連接
開機(jī)操作之后,先將流量顯示儀的閥開關(guān)置到“關(guān)閉”位,將設(shè)定值調(diào)到零,再開氣,待零點(diǎn)穩(wěn)定后,再轉(zhuǎn)到“閥控”位,然后設(shè)定值調(diào)到需要的流量值,則實(shí)際流量值會(huì)跟隨設(shè)定值而變化。
與計(jì)算機(jī)連接
開機(jī)操作之后,通過RS485與計(jì)算機(jī)通訊,之后在計(jì)算機(jī)上將設(shè)定值調(diào)到零,再開氣,待零點(diǎn)穩(wěn)定后,再通過計(jì)算機(jī)將設(shè)定值調(diào)到需要的流量值,則實(shí)際流量值會(huì)跟隨設(shè)定值而變化。
關(guān)機(jī)操作
先斷氣,再將設(shè)定值調(diào)到零,然后斷電。
注意事項(xiàng)
加裝過濾器
使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器,如果流量計(jì)出口接有液體源瓶,應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計(jì)。
使用腐蝕性氣體
流量計(jì)通道采用的材料為:SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當(dāng)?shù)臈l件下,可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時(shí),應(yīng)在定貨時(shí)聲明。 使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
安裝位置問題
本控制器安裝時(shí)保持安裝面水平,但對(duì)位置并不特別敏感, 可以任意位置安裝,非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移,可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。
閥口密封問題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當(dāng)截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體,通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥,以保證工作安全。*工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi), 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應(yīng)進(jìn)行維修。
標(biāo)定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?/span>(N 2 )標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定,需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。
用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí),可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。
一般異常情況判斷和處理
現(xiàn)象
可能原因
處理方法
開機(jī)后無氣流流過
氣源未開, 氣路不通
接通氣源, 開通氣路
沒有設(shè)定目標(biāo)流量
參照操作詳解3.4
過濾器堵塞
更換過濾器
調(diào)節(jié)閥故障
檢查閥線圈是否斷, *清洗調(diào)節(jié)閥
電路故障
維修電路
零點(diǎn)偏差
參照操作詳解3.4
流量控制不穩(wěn)定
傳感器故障
更換傳感器
電路故障
維修電路
閥門污染
清洗閥門,更換密封件
氣源壓強(qiáng)太低或不穩(wěn)
提高氣源氣壓,穩(wěn)定氣源壓強(qiáng)
在閥門關(guān)閉的情況下,仍有較大的流量流過
調(diào)節(jié)閥故障
重新調(diào)整調(diào)節(jié)閥
入口氣壓過高
降低入口氣壓
通道堵塞
清洗MFC通道
流量顯示不能達(dá)到滿量程值
設(shè)定目標(biāo)流量低于滿量程
檢查設(shè)定值
其它電路故障
維修電路
不通氣時(shí)零點(diǎn)不穩(wěn),
電路故障
維修電路
傳感器故障
更換傳感器
- 成都維克安科技有限公司 吳
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