真空氬氣流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制,大量用于電子工藝設(shè)備(如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中;并廣泛化工化纖，實驗室應(yīng)用等各個領(lǐng)域。真空集熱管鍍膜機推廣應(yīng)用新技術(shù)———雙路質(zhì)量流量控制器在太陽能真空集熱管選擇性吸收涂層鋁靶磁控濺射鍍制工藝中，曾經(jīng)采用自動壓強控制器引入氬氣，質(zhì)量流量控制器引入反應(yīng)性氣體氮。真空氬氣流量控制器經(jīng)過*的生產(chǎn)實踐發(fā)現(xiàn)，自動壓強控制器中有幾個不穩(wěn)定的因素：一是壓電閥中的壓電陶瓷片易受潮失控和*使用失效；二是壓電閥中的片壓力不均勻及機械彈力變化引起失控；三是高壓強電離規(guī)管參數(shù)不能*穩(wěn)定。真空氬氣流量控制器顯然，以上不穩(wěn)定因素均會影響氬氣的真實流量，使預(yù)定的工藝參數(shù)漂移，影響鍍膜質(zhì)量，甚至無法將工藝操作進行下去。