PSG500真空規(guī)管度補(bǔ)償提供快速與*穩(wěn)定的真空測(cè)量并消除了對(duì)大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問(wèn)題。堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)，以及常規(guī)用途如前級(jí)真空管道中。 

PSG500真空規(guī)管特點(diǎn) 
　　 
　　占空間小 
　　任何方位安裝 
　　不銹鋼測(cè)量單元的金屬密封饋入件 
　　**化的溫度補(bǔ)償 
　　易于集成的對(duì)數(shù)訊號(hào)輸出 
　　至10巴**壓力的高過(guò)壓能力，用螺紋連接件 
　　烘烤型在法蘭處可達(dá)到250°C 
　　易于更換的傳感單元 
　　 
　　應(yīng)用 
　　 
　　控制高真空電離真空計(jì) 
　　前級(jí)真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè) 
　　真空系統(tǒng)中的安全電路 
　　在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量與控制