1. 產(chǎn)品概述：

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟、靈活的簇狀工具系統(tǒng)，允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高，允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合，是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關鍵因素，無論應用是什么。

自動晶圓轉移可實現(xiàn)高系統(tǒng)利用率，允許多名研究人員同時使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進行生長和校準

經(jīng)濟地升到其他增長模塊的路徑，多三個

集群架構中可配置的、特定于材料的生長模塊可在一個真空系統(tǒng)中生長不相容的材料

直接通往更大規(guī)模生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)的工藝路徑 

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟、靈活的簇狀工具系統(tǒng)，允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高，允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合，是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關鍵因素，無論應用是什么。