GEN20 分子束外延MBE

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品標簽

分子束外延 MBE 薄膜沉積

在線交流發(fā)送詢價進入商鋪同類產(chǎn)品

聯(lián)系方式：謝澤雨 查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述：

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術的應用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設計技術，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。

材料研究和預生產(chǎn)環(huán)境的理想選擇

垂直源到基板方向，具有 12 個 MBE 源端口和添加電子束功能的選項

手動或自動晶圓轉(zhuǎn)移選項可配置的低溫板、機械手、百葉窗和原位監(jiān)測設備

模塊化設計允許多兩個增長模塊