目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>分析儀器>>流體測(cè)量?jī)x器>> FPSIN-BCT-400硅錠壽命測(cè)量?jī)x
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更新時(shí)間:2024-09-11 11:28:43瀏覽次數(shù):468評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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硅錠壽命測(cè)量?jī)x是精確的非接觸式測(cè)量本體壽命的儀器,適合任意生長(zhǎng)硅錠表面任意曲率半徑硅錠測(cè)量壽命。也適合單晶硅硅錠和多晶硅硅錠壽命測(cè)量。
硅錠壽命測(cè)量?jī)x特點(diǎn)
壽命1-10+ms壽命范圍的高純硅測(cè)量
測(cè)量B-Cz硅生長(zhǎng),不要表面處理
對(duì)于多晶硅模塊,可給出壽命和陷阱密度等數(shù)據(jù)。
探測(cè)B-O缺陷,鐵污染和表面損傷等
監(jiān)控初始材料在Cz, Fz,多多晶硅或UMG硅的質(zhì)量
硅錠壽命測(cè)量?jī)x規(guī)格參數(shù)
測(cè)量指標(biāo):壽命,電阻率和trap density
壽命測(cè)量范圍:100ns~10ms
電阻率測(cè)量范圍:0.5~300Ohm-cm
測(cè)量分析模式:QSSPC,瞬態(tài),壽命分析
光偏置范圍:0-50suns
樣品表面:平整表面或者150mm直徑以?xún)?nèi)的多種表面
典型校準(zhǔn)范圍:10^13-10^16 cm^-3
光譜:白光和IR光照明
傳感器面積:45x 15mm
測(cè)量深度:3mm
工作溫度:20~25度
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)