目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光譜分析儀器>>分光光度計>> FRANG-MSP300顯微分光光度計薄膜測厚儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 色散單元 | 光柵和濾光片 | 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
顯微分光光度計MicroSpectrophotomete是多功能顯微薄膜測厚測量儀,結(jié)合顯微鏡測量薄膜吸收率,透過率,反射率以及薄膜熒光。這款顯微分光光度計通過測量薄膜反射率快速測量薄膜厚度,測量薄膜光學常量(n &k)以及薄膜thick film stacks。
顯微分光光度計應用
測量薄膜吸收率,透過率
測量化學薄膜和生物薄膜測量
光電子薄膜結(jié)構(gòu)測量
半導體制造
聚合物測量
在線測量
光學鍍膜測量
整套顯微分光光度計的組成是：光柵光譜儀（200-1100nm)+顯微鏡目鏡 適配器+軟件+顯微鏡（可選）。其中目鏡適配器包含鏡頭，可增加光的收集。標準的40X物鏡可做到測量點直徑約200微米。*高倍數(shù)的物鏡的測量點*小。
顯微分光光度計軟件
這款薄膜測試儀配備專業(yè)的儀器控制，光譜測量和薄膜測量功能的軟件，具有廣闊的應用范圍。該薄膜厚度測試儀軟件能夠?qū)崟r采集吸收率，透過率，反射率和熒光光譜，并且能夠能夠快速計算出結(jié)果。
對于吸收率/透過率模式的配置，所有的典型參數(shù)如 A, T可快速計算出來。其他的非標準參數(shù)，如signal integration也能測量出來。
對于反射率測量，該薄膜厚度測試儀軟件能夠精確測量膜層小于10層薄膜厚度（《10nm到100微米）， 光學常量（n & k)。
顯微分光光度計軟件的顯示
顯微分光光度計和自動晶圓傳輸加載系統(tǒng)的連用-用于晶圓薄膜測量
顯微分光光度計-具有成像和光譜對應測量功能
顯微分光光度計的樣品成像功能
顯微分光光度計標準參數(shù)
型號 | 波長范圍 | 測量參數(shù) | 測量薄膜厚度范圍 | 測量點大小 | 可選項 |
MSP100 | 250 to 1000 nm | D - Thickness; R - Reflection T - Transmission N - Refractive Index; K - Extinction Coefficients Geometry of features | Up to 25um | Configuration 1: 8µm /40µm /100µm Or Configuration 2: 5µm /25µm /50µm | Transmission Motorized Stage Motorized Z Focus Heating/Cooling Stage Special Sample Holders Fluorescence Attachment Other spot sizes Polarizing optics Thickness standards |
MSP300 | 400 to 1000 nm | 20nm to 50um | |||
MSP400 | 1000 to 1700 nm | 50nm to 50um | |||
MSP450 | 400 to 1700 nm | 20nm to 50um | |||
MSP500 | 250 to 1700 nm | Up to 50um |
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