Transpwctor XPR3氣體分析系統(tǒng)的特點(diǎn)：

1、新設(shè)計的離子源使污染的產(chǎn)生更小，從而延長使用壽命 和提供更清楚的訊號。

2、新型EM在PVD工藝壓強(qiáng)下工作，提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換，簡化數(shù)據(jù)的解譯過程。

3、新型加長的四極桿場可提高低質(zhì)量范圍的過濾能力，提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度，從而改善氫的監(jiān)測靈敏度。

Transpwctor XPR3氣體分析系統(tǒng)是新一代的高壓強(qiáng)四極場工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎(chǔ)上，在物理相汽沉積（PVD）檢測中具有高靈敏度、準(zhǔn)確度和靈活性。一系列技術(shù)上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空，無需大型負(fù)責(zé)的壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換設(shè)備。

TRANSPECTOR XPR3的應(yīng)用：

1、PVD工藝模塊

2、預(yù)清洗模塊

3、Non-cluter PVD設(shè)備

4、Clamped的除氣模塊