通知：INFICON公司將于2010年底停止IC5型膜厚控制儀的生產(chǎn)和銷售，但會繼續(xù)保證在使用中的IC5的保修、維護及零部件供應。

從2010年8月起，INFICON公司將正式開始IC5的替代升級型號：IC6的市場銷售。

IC6膜厚控制儀

IC/6具有寬廣的功能，它可啟動抽空過程、控制閥門、啟用基片加熱器等。這些增強的功能使系統(tǒng)無需配備輔助儀器，從而降低系統(tǒng)的復雜性和成本。IC/6的邏輯與控制功能包含100個可編程的邏輯狀態(tài)；I/O和TTL繼電器電路板提供多至24個繼電器輸出，28個TTL輸入，14個TTL輸出，20個計數(shù)和20個計時。邏輯狀態(tài)可與外輸入或輸出聯(lián)用。每個狀態(tài)可包含多至5個功能，并用布爾邏輯鏈接。IC/6可為源控制或圖形記錄儀輸出提供6個可賦值的模擬輸出、沉積速率、膜厚或沉積速率的偏離。

IC6膜厚控制儀的優(yōu)勢：

在保留了IC5的所有技術特點之外，增加了如下幾點新功能：

1）TFT-LCD顯示屏替代IC5的CRT顯像管；

2）USB數(shù)據(jù)采集接口取代IC5的軟盤驅動；

3）測量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ；

4）厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃；