TRANSPECTOR® MPH 殘余氣體分析儀

解放您的過(guò)程

性能提高良率并使正常運(yùn)行時(shí)間超大化

持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出前所未聞的代價(jià)。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)優(yōu)等的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè)超過(guò)的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比非常低。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

• 最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms

• TCP/IP 以太網(wǎng)連接

• 雙絲極

• 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器

• 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件

• 較短的傳感器可降低安裝占地面積

• 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程

• <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）

• 信噪比更高

• 可調(diào)換傳感器和電子元件

• 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

TRANSPECTOR® MPH 殘余氣體分析儀