IMM-100 薄膜沉積監(jiān)測儀讓卓yue變得可重復(fù)

通過精 確的速率和厚度監(jiān)測

功能

• INFICON 鎖模技術(shù)提供zui長的晶體壽命，并確保即使在非常低的速率下也能實現(xiàn)zui穩(wěn)定、zui高分辨率和厚度測量

• 通過上佳的QCM厚度測量實現(xiàn)產(chǎn)量zui大化

• 單通道速率和厚度監(jiān)測器，無需不必要的附加功能，以zui大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz，超過 100 ms 樣本

• 用于無縫集成的 EtherCAT 通信

• 緊湊的尺寸，通過節(jié)省工具空間來zui大限度地降低集成成本

• 專家應(yīng)用支持，能夠討論應(yīng)用需求，并提供比競爭對手更大的支持

• 符合 RoHS 標準

典型應(yīng)用

• 有機發(fā)光二極管應(yīng)用

IMM-100 薄膜沉積監(jiān)測儀