HDA4745-A-010-000傳感器賀德克陜西商

賀德克壓力傳感器的發(fā)展趨勢是進(jìn)一步提高動態(tài)響應(yīng)速度、精度和可靠性以及實(shí)現(xiàn)數(shù)字化和智能化等。常用賀德克壓力傳感器有電容式壓力傳感器、變磁阻式壓力傳感器（見變磁阻式傳感器、差動變壓器式壓力傳感器）、霍耳式壓力傳感器、光纖式壓力傳感器（見光纖傳感器）、諧振式壓力傳感器等。

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賀德克壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件（或應(yīng)變計(jì)）組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個(gè)面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變，然后由位移敏感元件（見位移傳感器）或應(yīng)變計(jì)（見電阻應(yīng)變計(jì)、半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)）轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號。有時(shí)把這兩種元件的功能集于一體，如壓阻式傳感器中的固態(tài)壓力傳感器。

賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱，也包括丈量高于大氣壓的壓力計(jì)以及丈量低于大氣壓的真空計(jì)。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當(dāng)對一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí)，其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型，一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱為粘貼型壓阻式傳感器，另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，使應(yīng)變計(jì)與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱為擴(kuò)散型壓阻式傳感器。

賀德克壓力傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英（二氧化硅）是一種自然晶體，壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電性質(zhì)一直存在，但溫度超過這個(gè)范圍之后，壓電性質(zhì)*消失（這個(gè)高溫就是所謂的 “ 居里點(diǎn) ” ）。由于隨著應(yīng)力的變化電場變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比較低），所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替換。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù)，但是它只能在室溫順濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用。磷酸二氫胺屬于人造晶體，能夠承受高溫順相當(dāng)高的濕度，所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。

壓電效應(yīng)是賀德克壓力傳感器的主要工作原理，賀德克壓力傳感器不能用于靜態(tài)丈量，由于經(jīng)過外力作用后的電荷，只有在回路具有無窮大的輸進(jìn)阻抗時(shí)才得到保存。實(shí)際的情況不是這樣的，所以這決定了壓電傳感器只能夠丈量動態(tài)的應(yīng)力。
壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的丈量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì)。它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī)、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊丈量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來丈量發(fā)動機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的丈量與真空度的丈量。   

賀德克壓力傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的丈量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì)。它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī)、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊丈量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來丈量發(fā)動機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的丈量與真空度的丈量。也可以用于軍事產(chǎn)業(yè)，例如用它來丈量槍炮子彈在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。它既可以用來丈量大的壓力，也可以用來丈量微小的壓力。
賀德克壓力傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)丈量中，比如說心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的，由于丈量動態(tài)壓力是如此普遍，所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛。除了壓電傳感器之外，還有利用壓阻效應(yīng)制造出來的壓阻傳感器，利用應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)變式傳感器等，這些不同的壓力傳感器利用不同的效應(yīng)和不同的材料，在不同的場合能夠發(fā)揮它們*的用途。

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